檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "表面粗糙度".ckeyword (精準) and year="110"
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隨著高功率電子元件的發展，因應效能的提升勢必產生更多熱能，為了避免高溫對元件的可靠度及運作帶來影響，多晶氮化鋁因具有高熱導率、高絕緣性及低成本，適合作為高功率電子元件的散熱基板。然而，多晶氮化鋁基板…
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在半導體積體電路製程中，局部拋光液膜中奈米粒子磨粒之動能在化學機械拋光過程中扮演重要角色。本研究使用電致動力技術 (Electro-Kinetic Force, EKF)配合高精密拋光機，利用電雙層…
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本研究探究電化學銑削之陽極溶解機制，透過分析模型預測參數之影響力。並以基礎測試、擴充基礎測試與主流測試，透過操作參數以觀測汲取電流、材料移除率、電流轉換效率與加工表面完整性之效應。實驗結果發現，陽極…